सुबन्तावली यथासूक्ष्म

पुमान्	एक	द्वि	बहु
प्रथमा	यथासूक्ष्मः	यथासूक्ष्मौ	यथासूक्ष्माः
सम्बोधनम्	यथासूक्ष्म	यथासूक्ष्मौ	यथासूक्ष्माः
द्वितीया	यथासूक्ष्मम्	यथासूक्ष्मौ	यथासूक्ष्मान्
तृतीया	यथासूक्ष्मेण	यथासूक्ष्माभ्याम्	यथासूक्ष्मैः
चतुर्थी	यथासूक्ष्माय	यथासूक्ष्माभ्याम्	यथासूक्ष्मेभ्यः
पञ्चमी	यथासूक्ष्मात्	यथासूक्ष्माभ्याम्	यथासूक्ष्मेभ्यः
षष्ठी	यथासूक्ष्मस्य	यथासूक्ष्मयोः	यथासूक्ष्माणाम्
सप्तमी	यथासूक्ष्मे	यथासूक्ष्मयोः	यथासूक्ष्मेषु

समास यथासूक्ष्म ॰

अव्यय ॰यथासूक्ष्मम् ॰यथासूक्ष्मात्