सुबन्तावली परमशिव

पुमान्	एक	द्वि	बहु
प्रथमा	परमशिवः	परमशिवौ	परमशिवाः
सम्बोधनम्	परमशिव	परमशिवौ	परमशिवाः
द्वितीया	परमशिवम्	परमशिवौ	परमशिवान्
तृतीया	परमशिवेन	परमशिवाभ्याम्	परमशिवैः
चतुर्थी	परमशिवाय	परमशिवाभ्याम्	परमशिवेभ्यः
पञ्चमी	परमशिवात्	परमशिवाभ्याम्	परमशिवेभ्यः
षष्ठी	परमशिवस्य	परमशिवयोः	परमशिवानाम्
सप्तमी	परमशिवे	परमशिवयोः	परमशिवेषु

समास परमशिव ॰

अव्यय ॰परमशिवम् ॰परमशिवात्